光学3D表面轮廓仪
对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等
1.半导体减薄片镀膜片晶圆IC粗糙度、微观轮廓分析
2.手机屏 油墨屏粗糙度 、平整度、台阶高分析
3.精密模具光学镜片 粗糙度 平整度 曲率半径 轮廓分析
4.微纳材料镀膜粗糙度膜层、厚度分析
5.磨损元件 粗糙度 轮廓尺寸面积体积参数分析
产品功能
1）系统光源及寿命：双LED光源（白光和绿光），10万小时超长寿命，终身无需更换；
2）测量模式：垂直扫描干涉模式（VSI），相移干涉模式（PSI），结合VSI和PSI的自适应通用测量模式（USI）；
3）多区域自动分析：自动获取图案化形貌区域的三维信息（高度、宽度、面积、体积、粗糙度、倾角等），同时具有自动统计分析功能。
4）具备各种类型样品表面微观形貌的3D轮廓重建与测量功能；
5）具备表面粗糙度和微观轮廓的检测功能，粗糙度范围涵盖0.1nm到数十微米的级别；
6）具备校平、去除形状、去噪、滤波等数据处理功能；
7）具备粗糙度分析、轮廓分析、结构分析、功能分析等表面参数分析功能；
8）具备自动对焦、自动测量、自动多区域测量、自动拼接测量等自动化功能；
9）具备一键分析、多文件分析等快速、批量分析功能；
10）具备word、excel等数据报表导出功能。
一体化操作的测量分析软件
1）测量与分析同界面操作，无须切换，测量数据自动统计，实现了快速批量测量的功能；
2）可视化窗口，便于用户实时观察扫描过程；
3）几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全；
4）一键分析、多文件分析，自由组合分析项保存为分析模板，批量样品一键分析，并提供数据分析与统计图表功能；
5）可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D、3D参数。
手机配件样品测试报告
