激光干涉仪

2023-04-14 866

激光干涉仪

可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。动态测量软件配合下,可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析,如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、最高测速下分辨率高等优点。

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产品采用进口高性能氦氖激光器,其寿命可达50000小时;采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出;采用高速干涉信号采集、调理及细分技术,可实现最高4m/s的测量速度,以及纳米级的分辨率;采用高精度环境补偿模块,可实现激光波长和材料的自动补偿;采用高性能计算机控制系统及软件技术,支持中文、英文和俄文语言,友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。

产品配置

  SJ6800激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件,可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列,依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。

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其中,线性镜组为标配,由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析,以及反向间隙修正和螺距补偿。

产品功能特点

功能广

  • 可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量;

  • 可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等;

  • 可实现对机床回转轴的测量与校准;

  • 可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为设备误差修正提供依据;

  • 具有动态测量与分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等,可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等;

  • 支持手动或自动进行环境补偿。

激光干涉仪应用:组装机床高校、机床直线度测量、机床测量、数据机床校准、机床回转轴测量、龙门加工中心测量、激光切割机测量、自动化设备测量、长导轨测量、加工中心回转轴测量、测量机床倾斜轴线测量

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